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    20254-8
    X-ray膜厚仪在半导体制造中的精准测量

    随着半导体技术的不断进步，对薄膜材料的精确控制和测量要求也越来越高。X-ray膜厚仪作为一种先进的非接触式测量工具，在半导体制造中广泛应用，尤其在薄膜厚度的精准测量方面，发挥着不可替代的作用。一、X-ray膜厚仪原理X-ray膜厚仪基于X射线的衍射原理，通过测量X射线与薄膜表面或薄膜与基底之间相互作用的变化来计算膜层的厚度。X射线照射到薄膜表面时，会发生散射和吸收。根据不同材料的性质，X射线的衍射...

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